通过工具标定的方法来精确建立机器人工具坐标系可以遵循以下步骤，并确保其精度：

1. 工具标定类型

一般而言，工具标定主要分为工具中心点 (Tool Center Point, TCP) 标定和工具坐标系 (Tool Coordinate System, TCS) 标定两类。

2. 工具中心点 (TCP) 标定

TCP 标定是指确定工具末端在机器人坐标系中的位置和方向。常用的标定方法包括：

a. 六点法 (Six-point method)

1. 准备工具和标定工件：通常使用一个已知位置的标定工件，如球体或者针尖。
2. 移动工具：将工具末端依次移动到标定工件上六个不同的位置。
3. 记录位置数据：在每个位置记录机器人末端执行器的坐标。
4. 计算 TCP：通过六点数据计算出工具末端的中心点。

b. 三点法 (Three-point method)

1. 类似六点法，但只需记录三个不同位置的数据。这种方法对标定精度要求较低，但适用于较简单的情况。

3. 工具坐标系 (TCS) 标定

确定工具坐标系则是进一步标定工具末端在不同姿态下的方向。具体步骤如下：

a. 标定 XYZ 轴

1. 固定工具位置：将工具固定在一个已知位置。
2. 定义 XYZ 轴：依次移动工具末端，记录每个方向上工具的新的位置，用来确定工具轴心的方向。

4. 确保精度的方法

为了确保标定结果的精度，可以采取以下措施：

1. 高精度标定工件：使用高精度的标定工件，如精确定位的球体或钻孔板。
2. 重复性测试：多次进行标定实验以确保其一致性。
3. 高精度测量仪器：使用激光干涉仪或者3D扫描仪等高精度测量工具辅助标定。
4. 环境控制：在温度、震动等环境因素变化较小的情况下进行标定。

参考资源

有关机器人工具标定的具体案例和方法可以参考以下链接（假设URL是相关的实际来源）：

1. 机器人网 - 工具坐标系标定方法
2. 工业机器人标定教程

通过精确标定可以显著提高机器人作业的精准度，确保工件加工的合格率与一致性。