参考资料

在分子束外延（Molecular Beam Epitaxy, MBE）过程中，沉积率通常需要保持很低的原因主要有以下几点：

1. 控制生长质量：低沉积率有助于实现对生长过程的精确控制，从而获得高质量的晶体薄膜。高沉积率可能导致晶体质量下降，出现缺陷和杂质。

2. 避免非平衡生长：在MBE中，通过精确控制沉积速率，可以避免非平衡生长条件，这可能导致晶体结构的不均匀性。

3. 减少应力和缺陷：低沉积率有助于减少薄膜中的应力和缺陷，这对于制备高性能的半导体器件尤为重要。

4. 提高均匀性：低沉积率有助于提高薄膜的均匀性，这对于实现器件的一致性和可靠性至关重要。

5. 实现精确的厚度控制：在制备超薄膜或多层结构时，低沉积率可以更精确地控制薄膜的厚度，这对于器件性能的优化至关重要。

6. 减少原子间碰撞：在低沉积率下，原子或分子在到达衬底前有更多的时间进行热运动，减少了原子间的碰撞，有助于形成更平滑的表面。

7. 提高表面迁移率：低沉积率可以增加原子在衬底上的表面迁移率，有助于原子到达适当的晶格位置，从而提高晶体质量。

通过保持低沉积率，MBE技术能够实现对薄膜生长过程的精细控制，这对于制备高性能的半导体器件和材料至关重要。