参考资料

在分子束外延（MBE）过程中，反射式高能电子衍射（RHEED）是一种常用的原位表征技术，用于实时监测晶体生长。RHEED通过分析从生长表面反射的高能电子束的衍射图样来提供晶体结构和生长动力学的信息。以下是RHEED在MBE过程中检测晶体层次生长的一些关键应用：

1. 表面结构分析：RHEED可以提供关于生长表面原子排列的详细信息，包括表面重构和表面缺陷。

2. 生长速率监测：通过观察衍射图样的变化，可以实时监测生长速率和生长模式，如层状生长或岛状生长。

3. 相变检测：在生长过程中，材料的相变（如从立方相到六角相的转变）可以通过RHEED图样的变化来检测。

4. 掺杂和组分控制：通过调整入射电子的能量和角度，RHEED可以用于监测掺杂剂的引入和材料组分的变化。

5. 温度和压力监测：RHEED系统通常配备有温度和压力传感器，可以实时监测生长环境，确保生长条件的稳定性。

6. 原位控制：RHEED系统可以与MBE生长室的控制系统相连，实现对生长过程的原位控制，以优化生长条件和提高晶体质量。

通过这些应用，RHEED为MBE过程中的晶体生长提供了重要的实时反馈，帮助研究人员和工程师优化生长条件，提高材料的性能和可靠性。