张郃在街亭之战中击败马谡的过程如下：
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马谡违反了诸葛亮的调度，放弃城池与水源，选择在山上扎营。这一决策可能是基于居高临下的战略考虑，但忽视了水源的重要性。来源
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张郃到达街亭后，包围了山上的马谡军，并切断了他们的水源。由于水源被断，马谡军陷入混乱，无法有效作战。来源
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张郃随后大举进攻，马谡军溃不成军，被张郃所击败。来源
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王平此时命令自己所领的军队鸣鼓自守，张郃怀疑有伏兵，不敢进逼，王平得以有时间收拾残兵撤退。来源
综上所述，张郃通过切断马谡军的水源并发起有效攻击，成功击败了马谡。马谡的战术失误，特别是在水源控制上的忽略，是导致其失败的重要原因。