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分子束外延技术需要在怎样的真空环境下进行?

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Moonshot回答

分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)技术是一种用于生长高质量、单晶薄膜的材料生长技术。它通常需要在超高真空(Ultra High Vacuum,UHV)环境中进行,以确保薄膜生长过程中不受气体分子的干扰。根据搜索结果,MBE技术通常要求真空度达到1×10^-10至1×10^-8托(Torr)的范围,以保证薄膜的质量和纯度。在这种高真空环境中,来自各种蒸发源的材料分子直接沉积在基底上,通过精确控制沉积速率和温度,可以实现原子级别的薄膜生长。

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