光学干涉仪是一种利用光波的干涉现象来测量物体的物理量(如位移、速度、形变等)的精密仪器。其工作原理基于光波的叠加原理,即当两束或多束相干光波相遇时,它们的振幅相加形成新的光波,其强度会因为相位差的不同而出现增强或减弱的现象,这种现象称为干涉。
光学干涉仪的历史发展可以追溯到17世纪,当时科学家们开始研究光的波动性质。1801年,英国物理学家托马斯·杨进行了著名的双缝实验,证明了光的波动性,并奠定了干涉测量的基础。19世纪,迈克尔逊和莫雷利用干涉仪进行了著名的迈克尔逊-莫雷实验,试图检测以太风的存在,虽然实验结果未能证实以太的存在,但迈克尔逊干涉仪成为了精密测量的重要工具。
随着技术的发展,光学干涉仪在多个领域得到了广泛应用,包括精密工程、光学制造、科学研究等。现代光学干涉仪利用激光作为光源,通过精确控制光路和测量干涉图样,能够实现亚波长的测量精度。
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